眾合服務(wù)

ZHONGHE SERVICE

電子特氣管道系統

特氣管道系統SpecialGasPipelineSystem是指SiH4,NF3,Cl2易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過(guò)99.9%)的一些具有高危險性,應確保安全性的特氣儲存、輸送與分配過(guò)程的設備、管道和部件的總稱(chēng),特氣系統工程是用于實(shí)現特氣系統安全使用的工程。公司提供從供氣系統;排氣處理、監視系統的綜合管理系統;建立以安全為第一的特氣管理輸送系統。提供設計、選型、制造、安裝、測試、調試和系統托管服務(wù)等整體解決方案。特氣管道系統由儲存、輸送、分配、控制四類(lèi)設備組成。其中"存儲"指氣源部分(特氣柜GC),"輸送"指配管部分(一般用雙套管),"分配"指二次配部分(氣體分配柜VMB),"控制"指監督控制部分(氣體管理系統GMS)。

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scrubber尾汽處理系統

半導體工藝廢氣處理方式依據廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式∶1、水洗式(處理腐蝕性氣體)2、氧化式(處理燃燒性,毒性氣體)3、吸附式(干式)(依照吸附材種類(lèi)處理對應之廢氣)4、等離子燃燒式(各類(lèi)型廢氣皆可處理)Scrubber尾氣處理裝置可處理氣體種類(lèi)包括半導體、液晶以及太陽(yáng)能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等.

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集中供氣系統

工業(yè)集中供氣系統是一種現代化集中供氣,這種現代化的供氣方法得到了社會(huì )普遍認可,它是一種將氣源通過(guò)管路設計集中匯流到用氣點(diǎn)的現代化供氣設計;這種集中供氣方式大大提高了效益,降低了人力資源的消耗并且安全美觀(guān),氣體輸出更加的穩定流暢;適用于氧氣、氬氣、二氧化碳、氫氣、乙炔、丙烷、液化石油氣等各種氣體的輸送。這種集中供氣與傳統氣瓶供氣方式相比具有相當大的優(yōu)勢;目前廣泛運用于化工、造船、玻璃、食品、輕工、鋼鐵、電子、交通運輸及航空航天等多個(gè)領(lǐng)域。圖下:

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化學(xué)品供液系統

系統一般由設于化學(xué)品間外墻的接收裝置、化學(xué)品間內的化學(xué)品接收儲罐、供給裝置、化學(xué)品供給管路組成 。

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GDS氣體探測報警系統

系統由安裝在現場(chǎng)的可燃/有毒氣體探測器和安裝在控制室內的控制單元,數據采集模塊,工作站等組成。通過(guò)數據采集模塊對現場(chǎng)檢測器實(shí)施數據采集,并通過(guò)通訊模件完成于操作品站或第三方系統(設備)之間的通訊,接受相關(guān)信息并傳遞實(shí)時(shí)數據。

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BSGS大宗特氣系統

大宗特氣系統(BSGS)作為半導體生產(chǎn)過(guò)程中必不可少的系統 ,高純氣體系統直接影響全廠(chǎng)生產(chǎn)的運行和產(chǎn)品的質(zhì)量。相比較而言,集成電路芯片制造廠(chǎng)由于工藝技術(shù)難度更高、生產(chǎn)過(guò)程更為復雜,因而所需的氣體種類(lèi)更多、品質(zhì)要求更高、用量更大,也就更具代表性。此系統是在氣柜基礎上開(kāi)發(fā)的,可以持續進(jìn)行超大流量不間斷供應的特氣供應系統。

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高純氣體管道系統

高純氣體管道是高純氣體供氣系統的重要組成部分,是將符合要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵 ,包括系統的設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內容。近年來(lái)以大規模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴格的要求,使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。

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氣體充裝系統

工業(yè)氣體按組份可分為單一品種氣體的工業(yè)純氣和二元或多元氣體的工業(yè)混合氣。國家標準《瓶裝壓縮氣體分類(lèi)》(GB16163-1996)中,根據工業(yè)純氣在氣瓶?jì)鹊奈锢頎顟B(tài)和臨界溫度進(jìn)行分類(lèi),并按其化學(xué)性能,燃燒性、毒性、腐蝕性進(jìn)行分組。第1類(lèi)為永久氣體,其臨界溫度〈-10℃,在充裝時(shí)以及在允許的工作溫度下儲運和使用過(guò)程中均為氣態(tài),分為a、b兩組∶a組為不燃無(wú)毒和不燃有毒氣體(包括氧、氮、氧等),b組為可燃無(wú)毒和可燃有毒氣體(包括氫等)。第2 類(lèi)為液化氣體,其臨界溫度≥-10℃,包括高壓液化氣體和低壓液化氣體。

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實(shí)驗室集中供氣系統

實(shí)驗室集中供氣系統,是現在一種普遍被采用的供氣方式,它主要是由氣源,切換裝置,調壓裝置,終端用氣點(diǎn),監控及報警裝置組成。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),實(shí)驗室集中供氣系統就是將所有氣瓶集中存放在氣瓶房,通過(guò)氣瓶減壓閥將氣體輸送到各個(gè)實(shí)驗室(即儀器端)的系統。

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