眾合產(chǎn)品

ZHONGHE PRODUCTS

電子氣體


所屬分類(lèi):

產(chǎn)品中心


  電子特種氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子,特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過(guò)程中不可缺少的基礎性支撐源材料,它被稱(chēng)為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”,它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標和成品率,并從根本上制約著(zhù)電路和器件的精確性和準確性。

分類(lèi)氣體名稱(chēng)
摻雜氣AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、H2Se、SbH3、(CH3)2Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te
晶體生長(cháng)氣SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、TeH2、 (CH3)Al、(C2H5)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)3P、(C2H5)3P、SnCl4、GeCll4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2
氣相蝕刻氣Cl2、HCl、HF、HBr、SF6
等離子蝕刻氣SiH4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、CHFCl2、N2、He、Ar
離子束蝕刻氣C3F8、CHF3、CClF3、CF4
離子注入氣AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、H2、N2
化學(xué)氣相沉積氣SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2
平衡氣(稀釋氣)N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2
外延氣SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、He、H2、N2、Ar

 

 

電子特氣設備


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關(guān)鍵詞:

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